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        HISOMET测量显微镜误差1um读数精度0.001um
        发布者: 发布时间:2013/10/12 阅读:788


        日本Union DH2高精度非接触深度测量显微镜

        采用光学和非接触方法探测焦距的方法,测量不会给样品造成变形或划痕等影响,这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用,以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量..

        高度测量误差1微米,行内最优秀的高度测量显微镜,广泛引用于IC,精密部件的测量. 测量误差1微米.

         

        品牌:UNION  HISOMET 系列 型号DHⅡ  产地:日本  非接触式深度测量工具显微镜

        Z轴测量误差:1微米 (40×) 读数精度0.001微米

        日本Union HISOMET DH2高精度非接触深度测量显微镜
        采用光学和非接触方法探测焦距的方法,测量不会给样品造成变形或划痕等影响,这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用,以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量..


        功能:
        非接触测量微细的撞击、台阶等。
        ◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和精确的聚焦指示器完成高精确的测量
        ◎ 简单的操作
        ◎ Z轴测量行程可从几个μm 到25mm
        ◎ 同时还可以完成测量点的表面观察

        观 测 头: 三目
        Z轴测量范围: 0.1μm 读数,20mm 行程
        Z轴测量精度: 3σ=1μm (40×)
        光学镜身: 精确的自动聚焦单元
        物 镜: 5× - 100×
        测量软体: 4种模式
        资料处理软体: 显示最大值,最小值,平均值,标准偏差值等

        Union hisomet DH2非接觸工具顯微鏡 2

        物镜参数:

          PLM5×            工作距离W.D. 19mm       数值孔径NA 0.1
          PLM10×          工作距离W.D. 12.0mm    数值孔径NA 0.2
          PLLWDM20×   工作距离W.D. 11.2mm    数值孔径NA 0.4  分辨率0.84um 景深1.72mm
          PLLWDM 40×  工作距离W.D. 10.0mm    数值孔径NA 0.5  分辨率0.67um 景深1.1mm

        选配:

          PLLWDM 100×  工作距离W.D. 5.0mm    数值孔径NA 0.73  分辨率0.46um 景深0.52mm

        用户:松下,SONY,UATC,NXP,JABILL,SCC,日月光,长电,航天8358,兵器工业集团,中铝洛铜,华为,STS,BYD 等等 90%的半导体厂都是用这品牌

         
         

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